清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目更正公告

一、项目基本情况 原公告的采购项目编号：清采招第20260288号　　　　　　 原公告的采购项目名称：清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目　　　　　　 首次公告日期：2026年07月27日　　　　　　 二、更正信息 更正事项：采购文件 更正内容： 更正前： 采购需求偏离表（★号条款）中： 7 ★ 第四章 二、技术要求 ★2.2.7良好的填充性能（可实现深宽比1：2@CD=10um的槽填充工艺)； 更正后： 采购需求偏离表（★号条款）中： 7 ★ 第四章 二、技术要求 ★2.2.7良好的填充性能（可实现深宽比1：2@CD=2µm的氧化硅填充工艺，填充无孔隙)； 更正日期：2026年08月14日　 三、其他补充事宜 本更正公告未提及的事项与招标文件内容保持一致。 四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：清华大学　　　　　 地址：北京市海淀区清华园　　　　　　　　 联系方式：010-62780051　　　　　　 2.采购代理机构信息 名 称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　 地　址：北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园　　　　　　　　　　　　 联系方式：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉010-81123510、010-81123506　　　　　　　　　　　　 3.项目联系方式 项目联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉 电　话：　　010-81123510、010-81123506